TZ-803A自动探针台

TZ-803A自动探针测试台是针对集成电路、半导体分立器件的中测设备，兼容5-8英寸晶圆。具备自动扫描、自动对准、自动测试等功能。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。

承片台
全新的四轴支撑设计，满足大行程、高精度、高刚性测试需求。

自动传输系统
晶圆自动传输系统由片盒承载台、关节机械手和预对准系统三部分组成。是全自动探针台的主要组成部分，具有良好的载片可靠性，预对准速度、精度高等特点。

图像自动对准系统
自主研发的CCD自动扫描对准系统，扫描对准精度高、速度快。

显微镜观察系统
采用新型结构的显微镜观察系统，可实现三维调节，更加贴近实际的测试需求。

界面显示
Windows友好界面，测试状态实时显示，简洁明了，便于使用。

可测片径： 5″、6″、8″
步距范围：0.005mm～100mm
工作台最大行程：240mm×300mm
工作台最大速度：200mm/s
定位精度：≤±0.005mm/200mm
步进分辨率：0.001mm
承片台Z向行程：30mm
Z向重复精度：≤±0.003mm
Z向分辨率：0.001mm
θ向调节范围：±5 º
自动对准精度：±0.005mm
上、下片方式：手动或自动方式
外形尺寸（宽×深×高）： 1035mm×1276mm×1500mm
功率：1Kw