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TZ-603B自动探针台

TZ-603B自动探针测试台是高速、高精度机型,主要适用于半导体分立器件,光电器件以及集成电路芯片的测试。它与测试仪连接后,能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。最大兼容6英寸晶圆。

界面显示


Windows友好界面,Mapping图实时显示。
支持离线打点功能。


具有BIN测试和环内测试功能。


具有坏点重测功能和两点对准功能。


工作台机构
工作台机构:采用精密导轨丝杠,步进电机驱动高速度、高精度。
工作台速度:≥200mm/s。
定位精度:≤±0.01mm/160mm。
步进分辨率:0.001mm。
承片台机构
Z向重复定位精度:≤±0.003mm。
Z向分辨率:0.001mm。
电控系统
采用高性能计算机,Windows操作系统,液晶显示器;
低辐射电控系统设计,抗干扰能力强,可实现2000V以内高压测试;
TTL专用接口,支持RS-232接口(可选), GPIB-488接口(可选)。

 
联系方式:020-38699788

可测片径:4″、5″、6″

步距范围:0.005mm~100mm

工作台最大行程:180mm×240mm

工作台速度:≥200mm/s

定位精度:≤±0.01mm/160mm

步进分辨率:0.001mm

承片台Z向行程:10mm

Z向定位精度:≤±0.003mm

Z向分辨率:0.001mm

θ向调节范围:±10 º

θ向分辨率:0.0013 º

观察装置:双目体视显微镜放大倍数14X~90X

上、下片方式:手动方式

外形尺寸(宽×深×高): 700mm×800m×1500mm

TZ-603B自动探针台
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TZ-603B自动探针台

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