CXS系列旋转冲洗甩干机

产品详情

CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。

· 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制
· 采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单
· 结构采用洁净化处理技术
· 去离子水电阻率监控
· 防静电控制
· 氮气温度控制
· 腔体温度控制
· 转轴氮气密封
· 无刷电机驱动
· 旋转载体定位
· 故障诊断，显示及报警

功能配置
C型
D型
S型
控制系统采用可编程控制器，可存储百种菜单
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采用汉显触摸屏
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驱动采用无刷电机
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高纯管件
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腔体载体采用316L不锈钢材料，电化学抛光处理
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电阻率监控功能
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防静电功能
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转轴氮气密封
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氮气温度控制
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氮气过滤器
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腔体加热
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旋转载体定位
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常规净化处理
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高洁净化处理

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