TZ-803A自动探针台

TZ-803A自动探针测试台是针对集成电路、半导体分立器件的中测设备，兼容5-8英寸晶圆。具备自动扫描、自动对准、自动测试等功能。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。

ST-103A 手动探针台

ST-103A手动探针测试台是手动型探针台。它与测试仪连接后，主要用于各种半导体器件芯片的电参数测试，适用于科研分析、小批量生产及抽测。

TZ-603B自动探针台

TZ-603B自动探针测试台是高速、高精度机型，主要适用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路芯片的测试。它与测试仪连接后，能自动完成对芯片的电参数测试及功能测试。最大兼容6英寸晶圆。

BG-401A型曝光机（光刻机）

BG-401A曝光机（光刻机）主要用于中小规模集成电路、声表面波器件和其它各种半导体元器件制造工艺中的单面对准及曝光。最大兼容4英寸晶圆。

BG-406系列曝光机（光刻机）

BG-406系列曝光机（光刻机）主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准及曝光。该系列曝光机由4英寸、6英寸单/双面曝光机组成，可实现单/双面对准、单面曝光、间隙曝光、全曝光。

SB-402双面曝光机（光刻机）

SB-402双面曝光机（光刻机）主要用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS）等制作的双面对准和曝光。最大兼容4英寸晶圆。