CXS系列旋转冲洗甩干机

CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。

DFQ系列全自动单晶圆湿处理设备

随着微电子新材料的广泛使用及器件特征尺寸的不断减小，单晶圆湿处理设备得到广泛应用，45所结合多年来在湿法设备方面的设计制造经验，研发出了应用于集成电路（IC）、分立器件、声表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件、先进封装等行业的单晶圆湿处理设备。

SFQ/SFQZ系列湿法清洗设备

SFQ/SFQZ系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电子器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域，用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺，有手动、半自动及全自动三种配置。

LXS系列立式旋转冲洗甩干机

LXS系列立式旋转冲洗甩干机主要用于材料制备、太阳能电池片、分立器件等行业中晶片的冲洗干燥工艺。该产品基础成熟可靠，得到用户的广泛认可，具有极高的市场占有率。

DYX系列匀胶显影设备

DYX系列自动匀胶/显影设备分为轨道式和星型结构两种机型，适用于LED\MEMS\声表面波\IC集成电路等行业标准晶圆片全自动匀胶显影工艺处理。